芯明天直驅機構式壓電掃描臺P77系列壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺，壓電平臺中心為106mm大通光孔，壓電陶瓷直驅機構，內置高性能壓電陶瓷，可以實現Z 軸20μm的位移行程，無摩擦柔性導向機構具有超高的分辨率，閉環版本定位精度可達納米級，是光學移相器的選擇。
芯明天直驅機構式壓電掃描臺P77壓電掃描臺典型應用
• 顯微成像
• 表面檢測
• 閉環重復定位精度高
• 干涉/計量
• 精密定位
• 移相器 •
光學捕獲
應用案例
大孔徑、大承載、高諧振頻率
P77系列壓電掃描臺采用優異的柔性鉸鏈導向機構設計， 利用有限元分析優化， 剛度可達8 N/ μm，空載諧振頻率 300Hz。
閉環版本內置高精度傳感器，對位移實時監測反饋，可 實現納米級的重復定位精度及線性度。
壓電掃描臺中心106mm的大通光孔，該產品已廣泛應用于激光平面干涉儀等設備。
芯明天P77壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特 點廣泛應用于現代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測量精度。
P77壓電掃描臺特性：
Z軸運動
• 大行程20μm
• 大承載5kg
• 通孔直徑：Ø106mm
技術參數：
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型號 |
尾綴S-閉環 尾綴K-開環 |
P77.Z20S P77.Z20K |
單位 |
| 運動自由度 | Z |
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| 標稱行程范圍（0~120V） | 14 | μm±20% | |
| 大行程范圍（-20~150V） | 20 | μm±20% | |
| 傳感器類型 | SGS/- |
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| 通孔尺寸 | Ø106 | mm | |
| 閉/開環分辨率 | 1/0.5 | nm | |
| 閉環線性度 | 0.2/- | %F.S. | |
| 閉環重復定位精度 | 0.1/- | %F.S. | |
| 俯仰/偏航/滾動 | <10 | µrad | |
| 推/拉力 | 120/50 | N | |
| 運動方向剛度 | 8 | N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 300 | Hz±20% | |
| 閉/開環空載階躍時間 | 5/2.5 | ms±20% | |
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閉環空載 工作頻率 | 10%行程 | 60 |
Hz±20% |
| 行程 | 10 | ||
| 大承載 | 5 | kg | |
| 靜電容量 | 5.4 | μF±20% | |
| 材質 | 鋁 |
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| 重量 | 1600 | g±5% | |
