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CYG503、504微型壓力傳感器

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  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-09-02
  • 廠商性質其他
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  • 產品數量11
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昆山雙橋傳感器測控技術有限公司是中科院昆山高科技產業園、國家火炬計劃昆山傳感器產業基地核心骨干企業,成立于2001年,注冊資產600萬元,現總資產近1320萬元。公司以MEMS壓阻壓力傳感器為主導產品,兼及其它相關傳感器、變送器,自控儀表及系統的開發、生產與銷售。公司2002年評為江蘇省,2008昆山市33家通過復審的。公司2002年通過ISO9001:2000標準質量管理體系的認證,公司先后被評為蘇州市民營企業、全國民營科技企業創新獎、江蘇省質量信得過企業、昆山市科技研發中心、昆山市的;先后獲得國家技術發明二等獎、國家發明優秀獎、科技進步一等獎、中國儀器儀表學會科技成果獎、石油化工協會科技發明二等獎、中國電子學會電子信息科學技術三等獎,蘇州市科技發明二等獎、蘇州市科技進步三等獎,蘇州市優秀獎、蘇州市產品等榮譽十余項。

雙橋公司是國內開發MEMS技術壓力傳感器研究的幾個單位之一,是國內較少的幾個堅持從MEMS力敏芯片的設計、制造做起,因而具有自主知識產權,確立了以高、特、難、新MEMS壓力傳感器為企業主發展方向。現有員工五十多人,研究生4人,大專以上文化36人,具有10年以上傳感器開發經驗的高級技術人員6人,其中研究員級、博導4人。(從事研究開發的技術人員17人)

雙橋傳感器公司先后參與和承擔了國家863高技術研究發展重大專項、國家中小企業科技創新基金項目、江蘇省高技術研究項目、蘇州市科技攻關項目、昆山市科技攻關項目等國家、省、市各級科技項目十余項次。公司現擁有省*產品10項,已發明15項,實用新型7項,軟件著作權3項;申請并已受理累計30項,其中發明21項,國防發明2項。

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標稱尺寸外徑3mm的微型壓力傳感器CYG503是專為空氣動力學研究試驗中,要求安裝尺寸小,不擾動流場,動態響應優良動態壓力分布測量而設計的。應用于如發動機進氣道壓力畸變、喘振等的空氣動力學性能測定。
CYG503、504微型壓力傳感器 產品詳情

標稱尺寸外徑3mm的微型壓力傳感器CYG503是專為空氣動力學研究試驗中,要求安裝尺寸小,不擾動流場,動態響應優良動態壓力分布測量而設計的。應用于如發動機進氣道壓力畸變、喘振等的空氣動力學性能測定。

CYG503的壓力敏感元件采用的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技術設計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術制作的惠斯頓應變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工,精密各向異性腐蝕形成的硅薄膜力敏結構使其具有很高的壓力靈敏度和小至1.5mm以下的徑向尺度。的微型化的壓力敏感芯片采用無應力封裝技術,密封封裝在特制的微型安裝基座和不銹鋼毛細管中。絕壓型傳感器參考壓力腔是芯片背面密封的真空腔,表壓型傳感器的參考壓力腔是通過一根更細的不銹鋼毛細管從背面引出與大氣溝通。也為了方便用戶為取得穩定的壓力參考而用細尼龍管將它引至氣壓穩定處。

CYG503A絕壓型微型壓力傳感器為探針形,標準外徑為Ф3.5mm,長度為18mm,特制的短柱形CYG503AS將長度縮短為12mm。可選量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa壓力。

CYG503G表壓型微型壓力傳感器為探針形、標準外徑為Ф3.5mm,長度為18mm,背壓引出毛細管長為12mm。可選量程為160、250、400、600、1000、1600、2500 kpa表壓力。

CYG503的設計制作已獲得國家發明、號為:.3。

CYG504微型螺栓安裝型壓力傳感器是為方便一些用戶使用要求的CYG503的衍生品種,絕壓、表壓均可。它的外形尺寸見附圖。

CYG503、504型傳感器由于用敏感元件正面承壓,因此,它僅適用于介質為無腐蝕性,不導電性的干燥氣體。但它有相當寬的工作溫區和非常好的動態頻響。可使用的動態頻響低至零頻、高至數十千赫茲。表面增加涂復保護可改善介質適用能力,但以犧牲頻響特性為代價。

1、性能指標參數

指標/檔級非線性精度
±%FS
遲滯重復性
%FS
零位溫度系數
×10-4FS /℃
靈敏度溫度系數
×10-4FS /℃
零位時漂
<mv/8h
JA0.50.1550.2
JB0.20.1220.1

2、滿量程輸出:  最小值30mv   典型值80mv   值130mv

3、輸入輸出阻抗:最小值3 kΩ   典型值5 kΩ    值7 kΩ

4、輸入工作電流:1.5mA(表壓型)1mA(絕壓型)(恒流源)

5、工作溫度范圍:-55℃~+120℃

6、補償溫度范圍:-10℃~+80℃

7、過載能力:    額定量程的200%

8、加速度靈敏度:<0.001%FS/g

9、外形尺寸圖:

A4.jpg

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