LIBS是Laser-Induced Breakdown Spectroscopy （激光誘導擊穿光譜儀）的簡稱，該技術通過超短脈沖激光聚焦樣品表面形成等離子體，利用光譜儀對等離子體發射光譜進行分析，以此來識別樣品中的元素組成成分，進而可以進行材料的識別、分類、定性以及定量分析。
自從LIBS技術問世以來，該技術就被為是一種前景廣闊的新技術，將為分析領域帶來眾多的創新應用。LIBS作為一種新的材料識別及定量分析技術，既可以用于實驗室，也可以應用于工業現場的在線檢測；
LIBS彌補了傳統元素分析方法的不足，尤其在微小區域材料分析、鍍層/薄膜分析、缺陷檢測、珠寶鑒定、法醫證據鑒定、粉末材料分析、合金分析等應用領域優勢明顯，同時，LIBS還可以廣泛適用于地質、煤炭、冶金、制藥、環境、科研等不同領域的應用。
除了傳統的實驗室的應用，LIBS還是為數不多的可以做成便攜裝置的元素分析技術，更是目前為止被認為可以做在線分析的元素分析技術。這將使分析技術從實驗室領域極大地拓展到戶外、現場、甚至生產工藝過程中；
Spectral Industries 推出的全新時間門控LIBS測量系統，是一套高效，功能強大，通用型強的LIBS測量系統，無論在實驗室或戶外操作，均可*應對各種測試環境，甚至其IRIS 光譜儀可用于空間環境！
LIBS激光誘導擊穿光譜分析儀具有如下特點及優勢：
l 超高數值孔徑(F/2)：基于設計的IRIS 中階梯光柵光譜儀的其LIBS系統可以獲得優于其他對手的優質信噪比；
l 使用中階梯光譜儀： 兼顧高分辨率(0.1-0.4nm)及寬的光譜覆蓋范圍180-800nm,880-1100nm；
l 配備高效光學激光聚焦及信號收集系統：可以獲得更低的探測極限以及更短的積分時間;
l 使用優選的全自動控制的激光源以及3軸電動位移臺： 軟件全自動控制，協調工作，同時保持OEM定制靈活性；
l <10ns 精確時延抖動： 有效避免韌致輻射背景噪聲干擾；
l 靈活小巧一體化的設計：不但適合實驗室使用，同樣適合工業設備的集成；強大的設計提供非常低的溫度影響，使其能夠承受惡劣的環境，同時可任意方向安裝，以任何想要的方向來對準樣品，不受場地及環境限制；
LIBS激光誘導擊穿光譜分析儀
Spectral Industries 的全套LIBS 系統包括：
l IRIS 中階梯光柵光譜儀
l 納秒脈沖主動調Q激光器
l 用于門控LIBS 測量的脈沖延遲發射器
l 激光聚焦及信號收集光學系統
l 自動控制-3軸電動位移臺
l 軟件—全硬件控制，Matlab數據處理作圖；
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LIBS 系統（未包括譜儀及樣品臺）
IRIS 中階梯光譜儀
SPECTRAL LIBS 系統指標參數 | |
光譜儀 | IRIS UV(200-800nm)or IRIS-DUV(氮氣吹掃180-800nm,880-1100nm) 光譜儀 |
光學系統 | 高效激光聚焦及信號收集光學系統 |
激光器 | 可選擇不同單脈沖能量及頻率的 主動調Q 納秒脈沖激光器 |
脈沖延遲發生器 | <10 ns抖動 ,100ns 時間延遲步距調整 |
位移臺 | 3軸電動位移臺，50*50mm移動范圍；（其他尺寸可選） |
氣體吹掃 | 吹掃接口閥門適用于深紫外測試：<200nm波段； |
工作距離 | > 50-500 mm （更大距離可選） |
激光聚焦光斑尺寸 | <=100 µm |
IRIS 中階梯光譜儀參數指標 | |
光譜范圍 | 180 - 800 nm and 880-1100nm (包括吹掃選項) |
光譜分辨率 | 0.1 - 0.45 nm (@ 180-800 nm, for 25 µm wide slit) |
F-數值孔徑 | f/2 |
狹縫尺寸 | 25 x 100 µm2 (其他尺寸可選: 10 x 100 µm2 ａnd 50 x 100 µm2) |
波長穩定性 | < 5 pm/K |
尺寸 | 220 x 195 x 80 mm3 (包括相機) |
重量 | 3 kg (包括相機) |
相機 | CMOS 探測器 (深紫外增強型),積分時間28 µs – 30 s |
LIBS 系統元素探測極限（部分）
典型現場應用案例
實驗室礦石表面Mapping分析
--鉆孔巖心棒元素分布2D圖譜
--鋰礦巖石表面元素分布圖
