【儀表網 儀表科普】X射線熒光光譜法是照射原子核的X射線能量與原子核的內層電子的能量在同一數量級時，核的內層電子共振吸收射線的輻射能量后發生躍遷，而在內層電子軌道上留下一個空穴，處于高能態的外層電子跳回低能態的空穴，將過剩的能量以X射線的形式放出，所產生的X射線即為代表各元素特征的X射線熒光譜線。其能量等于原子內殼層電子的能級差，即原子特定的電子層間躍遷能量。
X射線熒光光譜法可用于液體、粉末及固體材料的定性、定量分析。X射線熒光光譜儀可分為波長色散型(WD)和能量色散型(ED)。當X射線照射到供試品時，供試品中的各元素被激發而輻射出各自的熒光X射線。通過準直器經分光晶體分光，按照布拉格定律產生衍射，使不同波長的熒光X射線按照波長順序排列成光譜，不同波長的譜線由探測器在不同的衍射角上接收。根據測得譜線的波長識別元素種類；根據元素特征譜線的強度與元素含量間的關系，計算獲得供試品中每種元素含量百分數，即為X射線熒光光譜分析法。
優點在于：首先，與原級X射線發射光譜法比，不存在連續X射線光譜，以散射線為主構成的本底強度小，譜峰與本底的對比度和分析靈敏度顯著提高，操作簡便，適合于多種類型的固態和液態物質的測定，并易于實現分析過程的自動化。樣品在激發過程中不受破壞，強度測量的再現性好，以及便于進行無損分析等。其次，與原子發射光譜法相比，除輕元素外，特征(標識)X射線光譜基本上不受化學鍵的影響，定量分析中的基體吸收和增強效應較易校正或克服，譜線簡單，互相干擾比較少，且易校正或排除。
X 射線熒光光譜法可用于冶金、地質、化工、機械、石油、建材等工業部門，以及物理、化學、生物、地學、環境科學、考古學等。還可用于測定涂層和金屬薄膜的厚度和組成以及動態分析等。
實驗前準備
液體供試品可以直接進樣分析，固體供試品可以直接壓片或與適當的輔劑混合處理后壓片進樣分析。儀器使用前應使用國家標準物質或其他可溯源的標準物質校正。X射線熒光光譜法中一般應選擇強度大、干擾少、背景低的特征譜線作為分析線。
定性分析
根據每種元素特征X射線熒光譜線可對供試品中所含元素種類進行定性分析。
定量測定法
標準曲線法、內標法、標準加入法、數學校正法
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