低溫真空泵是一種利用20K以下低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵，又叫低溫泵、冷泵、冷凝泵，一般是以低溫液體(液氮或液氦)或低溫制冷機為冷源。低溫真空泵以其高效的抽氣能力和極低的極限壓力，為半導體、顯示面板制造、分子束研究、真空鍍膜、表面分析、離子注入以及空間模擬等高科技領域提供了理想的清潔真空環(huán)境。
 

　　目前，我國低溫真空泵市場呈現外資品牌和本土品牌共同競爭的格局：
 

　　①外資企業(yè)代表性公司有日本愛發(fā)科、日本住友、CTI等，外資企業(yè)在項目規(guī)模和資金投入較大，其技術成熟度也達到了世界先進水平，在低溫真空泵行業(yè)中處于競爭優(yōu)勢地位，其中，日本住友產品性能較高，其客戶集中于要求高的半導體設備領域；日本愛發(fā)科的客戶集中于顯示面板領域；CTI雖然技術實力及產品性能較強，但作為美國企業(yè)，其受到美國對華高技術領域制裁，國內半導體設備廠商基于供應鏈安全考量，主動推進關鍵零部件的“去美化”，使得CTI幾乎放棄在華低溫真空泵業(yè)務。
 

　　②本土企業(yè)代表性企業(yè)有浙江博開機電科技有限公司與安徽萬瑞冷電科技有限公司、南京鵬力科技產業(yè)集團等，其中，安徽萬瑞冷電科技有限公司作為本土領先的低溫真空泵生產商，立足于國內半導體設備廠商需求，研發(fā)和生產高端產品，其產品批量供應北方華創(chuàng)，助力國內半導體設備供應鏈自主化；南京鵬力科技產業(yè)集團作為中船旗下企業(yè)，在制冷機方面具備優(yōu)勢，為其低溫真空泵技術發(fā)展提供了技術支撐。
 

　　整體而言，本土企業(yè)由于研發(fā)生產時間短，生產技術和工藝與國際領先水平還具有一定差距，能夠量產的低溫真空泵產品種類較少，整體供給能力有限。據新思界發(fā)布的《2024-2029年中國低溫真空泵行業(yè)市場深度調研及發(fā)展前景預測報告》顯示，2023年，中國低溫真空泵產量不足2500臺，遠不能滿足國內需求。
 

　　新思界分析人士認為，隨著國內半導體行業(yè)的不斷發(fā)展，下游領域對低溫真空泵的產品性能要求持續(xù)提升，尤其是產品的抽速、恢復時間、抽氣容量、再生周期、能耗等指標。例如，隨著半導體行業(yè)的快速發(fā)展，下游用戶對氫氣和氬氣等氣體的抽氣速度和容量需求日益增長。
 

　　具備大抽速和大容量特性的低溫泵不僅能夠滿足半導體制造技術進步的需求，還能有效延長泵的再生周期，從而提升整體的生產效率。因而，國內低溫真空泵企業(yè)可以通過改進壓縮機、變頻技術等方式縮短降溫時間，并朝著集成度、智能化、網絡化更高的方向發(fā)展，通過優(yōu)化控制算法使其可滿足不同工況與應用環(huán)境，進一步提升技術及產品競爭力。