【儀表網 發(fā)明科技控】我國研發(fā)薄氣壓計，基于業(yè)界先進的單芯片集成MEMS技術，使其成為一款針對消費電子的CMOS-MEMS單芯片集成氣壓計。
　　

　　光學MEMS技術自上世紀80年代左右起步以來，基于MEMS技術而研制的一大批光學儀器，為光學產業(yè)及儀器儀表產業(yè)發(fā)展帶來了新的發(fā)展動力和機遇。
　　
　　近日又有一款基于MEMS技術的產業(yè)于國內誕生，中國科學院西安光學精密機械研究所與其參股公司麗恒光微電子科技有限公司共同宣布，聯(lián)合推出薄氣壓計PS2606。
　　
　　氣壓計PS2606是一款針對消費電子的CMOS-MEMS單芯片集成氣壓計，整個傳感器厚度僅為0.65毫米。產品以業(yè)界先進的單芯片集成MEMS技術，具有測量度高、系統(tǒng)穩(wěn)定性好、抗干擾能力強、低功耗、體積小等優(yōu)點。該氣壓計還擁有完全自主知識產權，是國產傳感器的杰出代表。其中CMOS-MEMS單芯片集成傳感器技術-CeMEMS，是麗恒光微的，包括已授權和獲準申請超過160件。
　　　　PS2606主要參數(shù)：
　　
　　（1）氣壓量程：30~110kPa；
　　
　　（2）封裝形式：8-pinLGA封裝，封裝尺寸2.0x2.5x0.65mm；
　　
　　（3）相對精度： /-1m（95~105kPa，25℃）；
　　
　　（4）精度： /-0.1kPa（95~105kPa，0~40℃）；
　　
　　（5）電源電壓：VDD1.71~3.6V；VDDIO1.2~3.6V；
　　
　　（6）輸出接口：I2C，SPI；
　　
　　（7）功耗：2.7μA@1Hz采樣率；
　　
　　（8）工作溫度：-40~85℃。
　　
　　麗恒光微總經理、中科院西安光機所微納研究中心副主任毛劍宏表示：“經過多年的研發(fā)和經營，麗恒光微利用上下游產業(yè)優(yōu)勢，成功串聯(lián)起從MEMS傳感器設計到MEMS傳感芯片制造以及傳感器封裝測試等一條完整的MEMS傳感器產品供應鏈。氣壓計PS2606是麗恒光微推出的第二款系列產品，未來將推出更多新產品滿足市場需求。”
　　
　　麗恒光微曾在早前已經研發(fā)了一代PS1606，是一款高性能，低成本的電容式壓力傳感器，是30~110千帕數(shù)字輸出電容式CMOS-MEMS高精度壓力傳感器，為PS2606氣壓計（高度計）做技術支持。
　　
　　據悉，PS2606于2014年底開始樣本出貨及客戶推廣，預計2015年季度可投入規(guī)模量產。