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  • VTC-16-D 小型三靶等離子濺射儀

VTC-16-D 小型三靶等離子濺射儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-07-31
  • 廠商性質其他
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  • 產品數量13
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深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務于高校、研究院所、企業研發部門的國家技術企業,長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發一站式服務平臺,為科學研究與產業孵化賦能。 深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯盟,目前已經搭建輻射的服務網絡,精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創立初期主要為半導體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉移所使用的包裝制品,產品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進行材料相關研發設備和鋰電池實驗設備的開發,經過十多年的積累深圳科晶現已成為新能源和新材料基礎研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規劃者和提供者,產品應用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。 主要產品系列:按應用與工藝更新產品系列 ? 材料基礎研究實驗裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發實驗制備裝備(包括鋰離子電池、固態電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案); ? 電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內標準等); ? 鋰離子電池中、小試生產制備全流程系統裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發實驗制備裝備(包括固體氧化物、質子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽能電池研發實驗制備; ? 功能薄膜研發實驗設備(包括混料、涂布、輥壓/復合、分切、復卷等); ? 高通量材料基因組實驗設備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結、測試表征等); 公司設立了開放的研發實驗室和設備體驗中心。對于鋰電池行業,可實現公斤級別材料制備及電池研發,能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發工作。 深圳科晶強大的研發團隊支撐了豐富的產品鏈,針對現有產品具有*知識產權的發明和實用新型共40多項(包含PCT和國內發明),并參與行業多項標準制定且獲得多個行業協會認可。 本著“精誠合作、創新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學、南開大學、上海交通大學、深圳大學、中航發航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構和企業簽署產學研合作。與此同時,深圳科晶設立了對外服務的公共試驗平臺,承接科研人員參觀交流與現場測試體驗,配備行業的售前技術人員協助研究者充分了解相關工藝和設備,縮短調研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關工藝試驗服務和培訓咨詢服務,協助細分領域的科研工作者快速掌握產業工藝,從而專注前沿研發。 材料科學是基礎科學。縱觀人類科技的發展歷史,新型材料的發現和應用將帶來巨大的產業機遇,而*的實驗裝備和儀器是為科研和應用保駕護航的重要保障。科晶團隊將一如既往秉承“客戶為本,技術為導,誠信為基,積極創新”的運營理念 ,竭力為科學研究和科技發展做出貢獻。
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VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀,其靶頭尺寸為2英寸,并且樣品臺的高度可以調節
VTC-16-D 小型三靶等離子濺射儀 產品詳情

VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀,其靶頭尺寸為2英寸,并且樣品臺的高度可以調節。此款鍍膜儀設計主要是制作一些金屬薄膜。

性能指標和基本配置
特點

● 特別為SEM樣品鍍導電性薄膜設計
● 體積小巧,操作簡單,容易上手。
● 擁有小型磁控靶頭,可以鍍金銀鉑等金屬。

主要參數

● 輸入電源:220V AC 50/60Hz
● 功率:200W
● 輸出電壓:500 VDC
● 濺射電流:0-50 mA可調
● 濺射時間:0-120S可調

濺射腔體

● 采用石英腔體,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
● 密封:采用不銹鋼平法蘭的O形密封圈

濺射頭&樣品臺

● 濺射頭可安裝靶材直徑為2英寸,厚度0.1 - 2.5mm
● 濺射時間1-120S可調
● 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺,其與濺射頭之間距離可調。
● 可選購加熱型樣品臺,其加熱溫度為500℃
● 安裝有一可手動操作的濺射擋板,可進行預濺射。
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真空系統

● 安裝有KF25真空接口
● 數字真空壓力表(Pa)
● 此系統可通入氣體運行
● < 1.0E-2 Torr (采用機械泵)(僅供參考,詳情請點擊)
● < 1.0E-5 Torr(采用渦旋分子泵)(僅供參考,詳情請點擊)
● 可在本公司選購各種真空泵
1

進氣

● 設備上配1/4英寸進氣口,方便連接氣瓶
● 設備前面板上裝有一氣流調節旋鈕,方便調節氣流

靶材

● 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)
● 此設備標配為銅靶
● 可在本公司選購各種靶材

各種靶材的參數(僅供參考) 對于濺射各種金屬靶材,需要摸索的濺射參數,下表是本公司實驗所設置的參數,歡迎您帶料來科晶實驗室摸索工藝(僅供參考,詳情請點擊)
靶材種類 真空度(Pa) 濺射電流(mA) 時間(s) 濺射次數
Au 31-33 28-30 100 1
Ag 31 28 100 1
薄膜測厚儀(可選)

可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上
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產品尺寸 L460 mm × W 330 mm × H 540 mm
1
凈重 20 kg(不包括泵)
使用注意事項

● 有時為了達到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜
● 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈
● 要達到薄膜與基底良好結合,請在濺射前清潔基材表面
● 超聲波清洗(詳細參數點擊下面圖片):(1)丙酮超聲,(2)異丙醇超聲-去除油脂,(3)吹氮氣干燥,(4)真空烘箱除去水分。
● 等離子清洗(詳細參數點擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學鍵,可祛除額外的污染物。
● 制造一個薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應用于改善金屬和合金的附著力。
● 請使用>5N純度氬氣等離子體濺射
● 濺射鍍膜機可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射
● 由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發鍍膜機。點擊下面圖片查看細節
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超聲波清洗機 等離子清洗機 大功率磁控濺射儀 蒸鍍儀

警告

● 注意:產品內部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機體。
● 氣瓶上應安裝減壓閥(不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。
● 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶頭。

認證

1CE認證

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內
點擊查看售后服務承諾書。
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