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摘要高精度區域摻雜困境是有機集成電路產業化的“卡脖子”難題。半導體技術是驅動信息革命的核心力量。在半導體集成電路制造過程中,區域摻雜的空間精度直接決定晶體管性能、電路集成度及器件可靠性等關鍵指標。

  【儀表網 研發快訊】2025年5月28日,北京大學化學與分子工程學院裴堅教授團隊在《自然》(Nature)上發表突破性研究成果,首次開發出一類可光激活的摻雜劑前體分子(iPADs,inactive photoactivable dopants),該類分子在光照條件下可原位轉化為高活性摻雜劑(PADs,photoactivable dopants),實現對有機高分子半導體的高效、精準、原位摻雜。該策略突破了傳統方法在區域精度與摻雜可控性方面的限制,首次實現了有機高分子半導體亞微米級超高精度n型摻雜,獲得了超過30S/cm的優異電導率,并在此基礎上實現有機集成電路的精準光控加工,為有機電子產業帶來革命性突破。
 
  該研究成果突破了有機高分子半導體高精度摻雜的核心瓶頸,為有機集成電路的微型化和高密度集成提供了關鍵技術支撐。該技術有望推動柔性顯示分辨率升級,助力智能傳感芯片靈敏度提升,加速有機集成電路的產業化進程。
 
  高精度區域摻雜困境是有機集成電路產業化的“卡脖子”難題。半導體技術是驅動信息革命的核心力量。在半導體集成電路制造過程中,區域摻雜的空間精度直接決定晶體管性能、電路集成度及器件可靠性等關鍵指標。隨著器件尺寸不斷縮小,對區域摻雜精度的要求持續提升。然而,有機高分子半導體的傳統摻雜策略面臨兩大根本性挑戰:其一,摻雜劑與半導體接觸即發生不可逆反應,難以實現高分辨率的精確控制;其二,現有的區域摻雜方法(如掩模蒸鍍、噴墨打印等)工藝復雜、成本高,且精度和重復性無法滿足高密度集成的要求。因此,缺乏高精度區域摻雜技術已成為制約有機高分子半導體在柔性顯示、生物傳感以及集成光電器件等前沿應用中的關鍵瓶頸。
 
  裴堅團隊創新性地開發出光控有機高分子半導體摻雜技術,在基礎研究和應用技術方面實現了3項核心突破(圖一),改寫了有機高分子半導體摻雜技術范式:
 
  1. 創新摻雜機制:通過構建具備“熱惰性/光激活”特性的摻雜劑前體分子(iPADs),首次實現了有機高分子半導體摻雜過程的精準可控。該分子在未受光激發前保持化學反應惰性,可兼容光刻膠烘烤、熱蒸鍍等主流微納加工工藝;經紫外光照射后快速轉化為高活性摻雜劑(PADs),實現對共軛高分子半導體的高效n型摻雜,電導率提升最高可達9個數量級。
 
  2. 普適性與高效率兼備的摻雜能力:現已開發出多種摻雜劑前體分子體系,成功應用于10余種典型有機高分子半導體,普遍實現電導率提升6個數量級,極大拓展了有機高分子半導體材料的應用場景。
 
  3. 針對有機集成電路實現亞微米級圖案化摻雜:該光控摻雜技術與現有半導體工業的光刻流程高度兼容,首次在有機高分子材料中實現亞微米尺度的區域摻雜精度,為高性能有機集成電路的構建提供了關鍵支撐,具備重要的工藝可行性與產業轉化潛力。
 
  圖一 a. 光激活摻雜機制以及摻雜劑的基本化學結構;b. 可被摻雜的部分高分子半導體化學結構;c. 光激活摻雜過程示意圖。有機高分子半導體與可光激活摻雜劑(iPADs)在溶液中共混,通過旋涂或滴涂的方式制備成薄膜,隨后在區域選擇性光激活下,iPADs轉化為高活性摻雜劑(PADs),實現有機高分子半導體高精度n型摻雜
 
  論文通訊作者為裴堅,第一作者為北京大學博士畢業生王馨怡。該研究工作得到了國家自然科學基金、國家重點研發計劃、北京市自然科學基金、北京分子科學國家研究中心的資助;在北京大學化學與分子工程學院分子材料與納米加工實驗室(MMNL)、北京大學電子顯微鏡實驗室、北京大學高性能計算平臺、上海同步輻射光源的支持下完成了相關研究工作。
 
  論文信息:
 
  Xin-Yi Wang, Yi-Fan Ding, Xiao-Yan Zhang, Yang-Yang Zhou, Chen-Kai Pan, Yuan-He Li, Nai-Fu Liu, Ze-Fan Yao, Yong-Shi Chen, Zhi-Hao Xie, Yi-Fan Huang, Yu-Chun Xu, Hao-Tian Wu, Chun-Xi Huang, Miao Xiong, Li Ding, Zi-Di Yu, Qi-Yi Li, Yu-Qing Zheng, Jie-Yu Wang, Jian Pei*, Light-triggered Regionally Controlled n-Doping of Organic Semiconductors, Nature, 2025, DOI: 10.1038/s41586-025-09075-y

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